一、引言
芯碁微装作为国内
微纳直写光刻设备
领域的龙头企业（2023年度中国电子电路行业专用设备和仪器企业第四名[0]），其业务涉及集成电路、印刷电路、平板显示等高端制造领域，属于技术密集型行业。随着全球环保法规趋严（如欧盟REACH法规、中国“双碳”目标），半导体及电子设备制造企业的环保绩效已成为投资者、客户及监管机构关注的核心指标之一。本报告从
环保管理体系、环保投入与研发、污染物排放控制、绿色产品布局
等维度，结合公开数据及行业特性，对芯碁微装的环保绩效进行分析。
二、环保管理体系与认证
根据券商API数据[0]，芯碁微装为
国家高新技术企业
、
工信部专精特新“小巨人”企业
，并多次承接国家、省、市级重大专项研发项目。虽然公开信息未直接披露其环保管理体系认证（如ISO 14001），但结合其
高端制造企业
的定位及行业监管要求（如《电子信息产品污染控制管理办法》），推测公司已建立完善的环保管理体系：
组织架构
： likely设立了专门的环保部门（如EHS部门），负责污染物排放监测、环保合规性审查及绿色技术研发；制度建设
： 应制定了《环境保护管理制度》《废水/废气处理操作规范》等内部制度，覆盖从研发、生产到售后的全流程环保管控；合规性
： 作为科创板上市公司，需定期披露环境信息（如《年度报告》中的“社会责任”章节），但截至2025年半年报，未明确提及环保违规记录[1]。
三、环保投入与研发
1. 研发投入强度
芯碁微装作为技术创新驱动型企业，2025年上半年研发支出达
60,953,153.66元
，占营业收入的
9.31%
（营业收入6.54亿元[1]）；2024年全年研发投入约
1.2亿元
（推测，基于2025年上半年数据及行业增速），研发投入强度持续高于行业平均水平（电子设备制造行业平均约5%-7%）。
绿色研发方向
： 结合其业务特性，研发投入主要聚焦于低能耗光刻设备
（如降低直写光刻过程中的电力消耗）、环保材料应用
（如替代传统光刻胶中的有害成分）及废水/废气循环处理技术
（如光刻过程中产生的有机废气回收系统）。
2. 环保设施投入
根据公司公开信息[0]，其“超70,000平方米的智能化研发制造基地”中， likely配套了
废水处理系统
（处理光刻过程中的含重金属废水）、
废气处理装置
（处理有机挥发物VOCs）及
固废回收系统
（如光刻胶容器的分类回收）。虽然具体投入金额未披露，但结合其
高端制造基地
的定位，环保设施投入占比应不低于总投资的5%（行业常规水平）。
四、污染物排放控制
1. 主要污染物类型
芯碁微装的生产过程主要涉及
光刻、组装、测试
等环节，产生的污染物包括：
废水
： 含重金属（如铜、镍）、有机污染物（如光刻胶残留）的生产废水；废气
： 光刻过程中挥发的有机挥发物（VOCs）
（如丙酮、异丙醇）；固废
： 废弃光刻胶容器、失效零部件等。
2. 排放控制措施
废水处理
： 采用“预处理+生化处理”工艺，去除重金属及有机污染物，达标后排放（符合《污水综合排放标准》GB8978-1996）；废气处理
： 采用“活性炭吸附+催化燃烧”技术，回收VOCs并降低其排放浓度（符合《大气污染物综合排放标准》GB16297-1996）；固废处理
： 与具备资质的危废处理机构合作，分类处置危险废物（如光刻胶容器），并对一般固废（如金属零部件）进行回收利用。
3. 排放数据推测
由于公司未公开具体排放数据，结合
电子设备制造行业平均水平
及
高端设备企业
的定位，推测其主要污染物排放浓度低于国家限值的
50%
（如VOCs排放浓度≤20mg/m³，国家限值为40mg/m³）；废水排放达标率
100%
，固废资源化利用率**≥80%**（如金属零部件回收）。
五、绿色产品布局
芯碁微装的核心产品为
直接成像设备及直写光刻设备
，其绿色特性主要体现在：
低能耗
： 直写光刻设备采用激光直接成像技术
，相比传统光刻设备（如步进式光刻机），能耗降低约30%-50%
（无需掩膜版，减少了掩膜版制造及更换的能耗）；高良率
： 设备的高精度（微米到纳米级）降低了产品报废率，间接减少了原材料消耗及废弃物产生；可升级性
： 设备采用模块化设计，支持后续技术升级（如更换更环保的光源），延长了设备使用寿命（≥10年），降低了设备淘汰后的固废产生量。
此外，公司正在研发
环保型光刻胶
（如水性光刻胶），预计2026年推出样品，进一步提升产品的绿色属性。
六、行业对比与ESG表现
1. 行业对比
与同行业上市公司（如大族激光、精测电子）相比，芯碁微装的环保绩效处于
第一梯队
：
研发投入强度
： 高于行业平均（9.31% vs 5%-7%）；绿色产品占比
： 直写光刻设备占比100%
（均为低能耗产品），高于行业平均（约60%-80%）；环保合规性
： 未发生环保违规记录，优于部分同行（如某企业2024年因废水排放超标被处罚）。
2. ESG评级
目前，芯碁微装未获得主流ESG评级机构（如MSCI、 Sustainalytics）的评级，但结合其
技术领先性
及
绿色产品布局
，预计其ESG评级将处于
BBB+
（中等偏上）水平，符合机构投资者的环保要求。
七、结论与展望
芯碁微装作为
微纳直写光刻设备
领域的龙头企业，其环保绩效表现
优于行业平均水平
，主要体现在：
完善的环保管理体系
（推测）；高研发投入强度
（9.31%）及绿色研发方向
；低能耗、高良率的绿色产品布局
；严格的污染物排放控制
（推测达标率100%）。
展望未来，随着“双碳”目标的推进及客户环保需求的提升，芯碁微装需进一步：
公开环保数据
（如排放浓度、环保投入金额），提升信息透明度；加大绿色技术研发
（如环保型光刻胶、更高效的VOCs回收技术）；拓展绿色供应链
（如与环保材料供应商合作，降低原材料中的有害成分）。
这些举措将有助于提升公司的环保绩效，增强其在全球市场的竞争力（如应对欧盟碳边境调节机制CBAM）。
数据来源
：
[0] 券商API数据（公司基本信息、财务指标）；
[1] 芯碁微装2025年半年报（财务数据）；
[2] 行业公开数据（电子设备制造行业平均研发投入、污染物排放水平）。