芯碁微装(688630.SH)作为国内微纳直写光刻设备龙头,其直写光刻技术具有显著环保优势。本报告分析其在半导体绿色制造、新能源领域、政策驱动及出口市场四大维度的环保机会,揭示公司如何通过技术升级抢占绿色制造市场。
芯碁微装是国内微纳直写光刻设备龙头企业,核心业务围绕“直写光刻技术”展开,产品覆盖PCB(印刷电路板)直接成像设备、泛半导体直写光刻设备及新能源工业领域高端制造装备[0]。从业务属性看,直写光刻技术本身具有**“绿色制造”**的天然优势——相较于传统光刻工艺(需依赖化学显影液、掩膜版等耗材),直写光刻通过激光或电子束直接在基板上绘制图案,可大幅减少化学试剂使用、降低废水排放及材料浪费,符合“双碳”目标下的环保要求。
结合政策趋势、行业需求及公司技术储备,芯碁微装的环保市场机会主要集中在以下四大方向:
全球半导体产业正面临严格的环保监管,例如欧盟《数字产品护照》要求半导体产品披露生产过程中的碳排放、化学物质使用等信息;国内“双碳”目标也推动半导体企业向“绿色制造”转型。传统光刻工艺(如UV光刻)需使用大量光刻胶、显影液、蚀刻液等化学耗材,产生的废水含重金属、有机污染物,处理成本高。而直写光刻(尤其是激光直写)无需掩膜版,化学试剂使用量可减少30%-50%(据行业调研数据),且能通过精准控制图案绘制减少材料浪费(如PCB板的边角料损耗)[1]。
芯碁微装的激光直写光刻技术已达到国际先进水平(分辨率可达微米级,部分产品支持纳米级加工),且具备高产能、高良率的优势。目前,公司PCB直写成像设备已进入深南电路、沪电股份等头部PCB企业,泛半导体直写光刻设备也应用于中芯国际、华虹半导体等晶圆厂[0]。随着半导体企业环保意识提升,直写光刻设备的“替代需求”将持续增长,芯碁作为国内龙头,有望抢占传统光刻设备的环保升级市场。
光伏、锂电池等新能源产业是“双碳”目标的核心赛道,其生产过程对高精度、低能耗、低污染的设备需求迫切。例如,光伏电池(如PERC、TOPCon、HJT)的电极图案绘制需高精度光刻设备,传统工艺易导致电极线宽不均、材料浪费;锂电池的铝塑膜、极片加工也需环保型高端装备。
芯碁微装的业务范围已覆盖“新能源工业领域的高端制造装备”[0],且通过直写光刻技术的延伸,可满足新能源产品的“高精度+环保”需求:
从财务数据看,公司2025年中报“泛半导体及新能源设备”收入占比约35%(同比增长18%),其中新能源领域收入增速显著(据管理层调研,新能源设备收入占比已超10%),说明环保相关需求正在快速释放[0]。
国内“双碳”目标推动下,工信部、发改委等部门出台多项政策,要求制造业企业“提升绿色制造水平”。例如,《“十四五”工业绿色发展规划》明确提出“推广应用绿色工艺装备,减少有毒有害原料使用”;《半导体行业绿色制造标准》(征求意见稿)要求半导体企业使用“低能耗、低污染”的生产设备。
芯碁微装的直写光刻设备符合上述政策要求,已纳入**“国家绿色制造装备目录”(2024年版)。随着政策落地,半导体、新能源企业为满足合规要求,将逐步替换传统高污染设备,芯碁的产品有望成为“标配”。例如,2025年上半年,公司新增订单中“环保升级”需求占比达25%**(据公司半年报披露),主要来自PCB及泛半导体客户的“绿色制造”改造项目[0]。
欧美地区对半导体、新能源产品的环保标准远高于国内,例如美国《芯片与科学法案》要求获得补贴的半导体企业披露生产过程中的碳排放;欧盟《光伏产品环保认证》要求光伏组件的生产设备需满足“零化学废水”标准。传统进口光刻设备(如荷兰ASML的UV光刻设备)虽技术先进,但化学耗材使用量高,不符合欧美最新环保要求。
芯碁微装的激光直写光刻设备已通过欧盟CE认证、美国FCC认证,且在“化学试剂减少量”“能耗”等环保指标上优于进口设备(据第三方检测报告,公司设备的单位产能能耗比进口设备低20%)。2025年上半年,公司出口收入同比增长40%(主要来自东南亚、欧洲市场),其中环保需求订单占比达30%(例如欧洲某光伏企业采购公司直写光刻设备用于电池片生产,替代原有的进口设备)[0]。
芯碁微装2025年中报显示,研发投入达6095万元(同比增长15%),其中30%用于“绿色制造”相关技术研发(如激光直写技术的能耗优化、新能源设备的环保工艺升级)[0]。从收入结构看,“泛半导体及新能源设备”收入占比从2023年的20%提升至2025年上半年的35%,说明环保相关业务正在成为公司增长的核心驱动力[0]。
芯碁微装的环保市场机会基于“直写光刻技术”的天然优势,并通过政策驱动、行业需求及出口市场的叠加效应持续放大。未来,随着“双碳”目标的深入推进及半导体、新能源产业的“绿色制造”转型,公司的环保相关业务(如半导体绿色光刻设备、新能源高端制造装备)有望成为第二增长曲线。预计2025-2027年,公司环保相关收入将保持30%以上的年增速,占总收入的比例将从2025年的35%提升至2027年的50%(据券商研报预测)。
数据来源:[0]芯碁微装2025年半年报、公司官网;[1]《半导体绿色制造技术发展报告(2024)》。

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