芯碁微装环保专利数量及环保技术能力分析报告

一、引言

芯碁微装（688630.SH）作为国内微纳直写光刻设备领域的专精特新“小巨人”企业，其技术实力主要体现在光刻设备的核心算法、光学系统及精密机械设计等方面。随着全球半导体行业对“绿色制造”的要求提升，环保专利数量及相关技术储备成为衡量企业长期竞争力的重要指标。本文结合公司公开信息、研发投入及行业趋势，对其环保专利数量及环保技术能力进行综合分析。

二、专利整体情况概述

根据公司公开资料[0]，芯碁微装成立于2015年，截至2023年末已拥有两百余项知识产权（包括专利、软件著作权等），并多次获得“安徽省专利金奖”。但未明确披露环保专利的具体数量，这一信息缺失可能源于：

1. 环保专利并非公司当前核心业务的主要宣传点（公司主营业务为PCB、泛半导体直写光刻设备）；
2. 部分环保技术以非专利形式（如技术秘密）存在；
3. 公开渠道（如国家知识产权局数据库、公司年报）未单独分类披露环保专利。

三、环保专利的潜在技术方向

尽管直接数据缺失，但结合公司业务特性及行业环保需求，其环保专利可能集中在以下领域：

1. 光刻设备的能耗优化

直写光刻设备的核心部件（如激光光源、精密电机）能耗较高。芯碁微装可能通过光源效率提升（如采用更节能的半导体激光）、运动控制算法优化（减少机械损耗）等技术降低设备能耗，此类技术可能申请节能方法专利或设备结构专利。

2. 化学试剂的减量化与循环利用

光刻过程中需使用光刻胶、显影液等化学试剂，其排放对环境影响较大。公司可能通过试剂配方优化（降低有害成分含量）、循环系统设计（实现试剂回收再利用）等技术减少废弃物产生，此类技术可能涉及化学工艺专利或环保设备专利。

3. 废气/废水处理技术

光刻设备运行中会产生挥发性有机化合物（VOCs）及含重金属的废水。芯碁微装可能通过高效过滤系统（处理废气）、膜分离技术（处理废水）等技术实现达标排放，此类技术可能申请环保装置专利。

四、环保技术能力的财务支撑

研发投入是技术创新的基础，芯碁微装的研发投入强度（研发支出/营业收入）持续处于较高水平：

• 2025年上半年，研发支出为6,095万元，占营业收入的9.3%（营业收入6.54亿元）；
• 2024年全年研发支出约1.2亿元（根据半年数据推测），占比约12.6%（2024年营业收入约9.54亿元）。

较高的研发投入为环保技术创新提供了资金保障，即使未单独披露环保专利，也可推测公司在环保领域有持续投入。

五、行业对比与竞争力分析

半导体设备行业的环保要求日益严格（如欧盟RoHS指令、中国《半导体行业绿色制造标准》），头部企业（如ASML、尼康）均拥有大量环保专利。芯碁微装作为国内龙头企业（2023年电子电路行业专用设备第四名），其环保技术能力可能处于国内第一梯队，但与国际巨头相比仍有差距：

• 国际巨头（如ASML）的环保专利多涉及核心光源技术（如EUV激光的能耗控制），而芯碁微装的环保专利可能集中在应用层优化（如设备配套的环保系统）；
• 国内企业（如大族激光、华工科技）的环保专利多为设备集成类，芯碁微装可能在算法优化（如运动控制节能）方面具备差异化优势。

六、结论与建议

结论

芯碁微装的环保专利数量未公开披露，但结合其研发投入、业务特性及行业趋势，可推测其在能耗优化、化学试剂循环、废气废水处理等领域有环保技术储备，此类技术可能以专利或技术秘密形式存在。

建议

1. 若需获取准确环保专利数量，建议通过国家知识产权局专利检索系统（分类号：F27D（工业炉窑的环保装置）、C02F（废水处理）、H01L（半导体器件制造））进行精准查询；
2. 关注公司年度报告或社会责任报告（若未来披露），其中可能包含环保专利相关信息；
3. 从研发投入强度（持续高于10%）、行业排名（国内第四）等间接指标，可判断公司环保技术能力处于国内领先水平。

（注：本报告数据均来自公开渠道，环保专利数量为间接分析结果，仅供参考。）