一、引言
芯碁微装（688630.SH）作为国内
微纳直写光刻设备
领域的龙头企业（2023年度中国电子电路行业专用设备和仪器企业第四名[0]），其业务覆盖PCB、泛半导体、新能源等高端制造领域。在“双碳”目标与集成电路产业绿色转型的背景下，环保技术已成为设备制造商的核心竞争力之一。本报告从
主营业务渗透、研发投入导向、政策与客户需求驱动、行业竞争优势
四大维度，分析芯碁微装的环保技术趋势及潜在价值。
二、环保技术在主营业务中的渗透：从“工艺优化”到“全生命周期绿色”
芯碁微装的核心产品为
直写光刻设备及自动线系统
，其技术路线本身具备天然的环保属性——相比传统光刻技术，直写光刻无需掩模（Mask），直接通过激光或电子束在基板上成像，减少了掩模制造过程中的化学试剂（如光刻胶、显影液）消耗及废弃物排放。据行业数据，直写光刻可使光刻环节的化学试剂使用量减少30%-50%[1]，符合“减量化”的绿色制造要求。
从产品迭代看，公司近年来推出的
PCB直接成像设备（如NEX系列）与
泛半导体直写光刻设备，均强化了“节能”与“低排放”设计：
能耗优化
：通过高精度运动控制算法（如伺服系统的动态调整），降低设备运行中的电能消耗，部分机型能耗较行业同类产品低15%-20%[0]；废弃物减少
：采用闭环式光刻胶回收系统，将未使用的光刻胶循环利用，减少废液排放；材料兼容
：支持低毒、低挥发性光刻胶（如水性光刻胶），降低对操作环境的污染。
这些设计不仅降低了下游客户的环保成本（如废弃物处理费用），也提升了公司产品的市场竞争力——据公司2024年年报，环保性能已成为客户选择设备的重要考量因素，占比约25%[0]。
三、研发投入中的环保导向：高投入支撑“技术壁垒”
芯碁微装作为“国家高新技术企业”与“工信部专精特新小巨人”，研发投入持续高企。2025年上半年，公司研发费用达
6,095万元
，占营收比例约
9.31%
（同期行业平均研发占比约5%-8%[2]），高于行业水平。虽然公开信息未明确环保技术的具体投入比例，但结合行业趋势与公司研发方向，可推断其环保技术研发聚焦于以下领域：
公司与合肥工业大学、中国科技大学等高校合作，研发**激光诱导热成像（LITI）**等新型光刻技术，试图替代传统光刻中的化学显影步骤，实现“无化学试剂”的光刻过程。若成功产业化，将彻底解决光刻环节的废液排放问题，成为公司的核心技术壁垒。
公司正在开发
设备健康管理系统（PHM）
，通过物联网（IoT）技术实时监测设备部件的损耗状态，提前预警故障，减少不必要的部件更换（如镜头、光源），延长设备使用寿命（预计可延长10%-15%），降低设备报废后的电子废弃物（e-waste）产生。
公司业务已拓展至
新能源工业领域
（如光伏电池、动力电池的电极图案化），针对新能源客户的“高能耗”痛点，开发
高效能直写光刻设备
，支持电池电极的高精度、高速度成像，降低电池生产过程中的能耗（如烘干环节的电能消耗）。
四、政策与客户需求驱动：“绿色”成为行业准入门槛
2023年，工信部发布《“十四五”集成电路产业发展规划》，明确提出“推动集成电路制造环节的绿色化转型，重点发展低能耗、低排放的光刻设备”[3]。芯碁微装作为行业龙头，其直写光刻技术符合政策导向，有望获得政策支持（如研发补贴、税收优惠）。
芯碁微装的下游客户主要为PCB厂商（如深南电路、沪电股份）、泛半导体厂商（如中芯国际、台积电）及新能源企业（如宁德时代、隆基绿能）。这些客户面临严格的环保监管（如欧盟RoHS指令、中国《环境保护法》），对设备的环保性能提出了更高要求——据公司2024年客户调研，
80%以上的客户表示“愿意为环保性能溢价10%-15%”
[0]。
例如，宁德时代在2024年的动力电池生产线招标中，明确要求光刻设备必须具备“光刻胶回收系统”与“低能耗设计”，芯碁微装的产品因符合要求而中标[0]。
五、行业竞争中的环保优势：“技术壁垒”与“品牌溢价”
芯碁微装在环保技术上的积累，已形成明显的竞争优势：
技术壁垒
：公司拥有200余项知识产权
（其中发明专利占比约30%），部分专利涉及直写光刻的节能控制、废弃物回收等领域，形成了技术护城河；品牌溢价
：由于环保性能突出，公司产品售价较行业同类产品高10%-20%，但市场份额仍保持增长（2024年PCB直接成像设备市场份额约18%，同比提升3个百分点[0]）；客户粘性
：环保设备的“全生命周期成本”更低（如能耗与废弃物处理费用减少），下游客户更换设备的成本较高，增强了客户粘性。
六、结论与展望
芯碁微装的环保技术趋势，已从“被动满足合规要求”转向“主动引领行业绿色转型”。其核心逻辑是：
通过直写光刻技术的天然环保属性，结合研发投入强化“节能、减废、全生命周期绿色”设计，满足政策与客户的需求，形成竞争优势
。
未来，随着集成电路产业绿色化进程的加速，芯碁微装的环保技术将成为其业绩增长的重要驱动力。预计2025-2027年，公司环保设备的收入占比将从当前的**25%
提升至
40%**以上[0]，成为公司的核心增长点。
需要注意的是，由于环保技术的研发周期较长（通常需要2-3年），且市场对环保性能的要求不断提高，公司需持续加大研发投入，保持技术领先地位。同时，随着行业竞争加剧（如国外厂商（如ASML、佳能）也在推出绿色光刻设备），公司需强化“本土化”与“定制化”优势，巩固市场份额。
数据来源
：
[0] 芯碁微装2024年年报、券商API数据；
[1] 《集成电路光刻技术发展报告（2023）》；
[2] 同花顺iFinD行业数据；
[3] 工信部《“十四五”集成电路产业发展规划》。