一、引言
芯碁微装（688630.SH）作为国内
微纳直写光刻设备
领域的专精特新企业，主要从事PCB直接成像设备、泛半导体直写光刻设备的研发与制造。随着半导体产业环保监管趋严（如欧盟RoHS指令、中国《电子信息产品污染控制管理办法》），其环保合规性不仅关系到企业持续经营，也是投资者评估 ESG 风险的重要维度。本报告从
业务特性、财务投入、合规记录、行业对比
四大角度，结合公开数据与行业逻辑，系统分析公司环保合规现状。
二、业务特性与环保关联性分析
芯碁微装的核心业务是
高端制造装备研发
（而非晶圆代工或封装测试），其产品（如PCB直接成像设备、泛半导体直写光刻设备）的制造环节主要涉及
电子元件组装、精密机械加工、激光系统集成
等步骤，相较于半导体产业链下游的晶圆厂（涉及光刻胶、蚀刻液等化学污染物），污染环节更集中于
废电子元件、机械加工废液
等，且排放量较小。
1. 技术路径的环保优势
公司采用
微纳直写光刻技术
（无需传统光刻的掩膜版），可减少掩膜版制造过程中的化学试剂使用（如光刻胶、显影液），降低废弃物产生。例如，其PCB直接成像设备（NEX系列）通过激光直接扫描成像，替代传统曝光机的“掩膜版+紫外线”流程，减少了掩膜版的消耗与废弃，间接降低了环境负荷。
2. 业务范围的环保边界
公司业务未涉及高污染环节（如重金属冶炼、危险化学品生产），主要污染物为
机械加工中的废油、废金属屑
及
电子元件报废后的废电路板
。根据《建设项目环境影响评价分类管理名录》，此类项目属于“轻污染”类别，环保审批要求相对宽松，但仍需遵守《中华人民共和国环境保护法》《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》等法规。
三、财务层面的环保投入分析
环保投入是衡量企业环保合规性的重要指标，包括
环保设备采购、污染治理技术研发、废弃物处理成本
等。由于芯碁微装未单独披露环保投入数据（2025年中报未列示“环保费用”科目），我们通过
研发支出
（可能涉及环保技术升级）间接推测其环保投入力度：
1. 研发投入规模
2025年上半年，公司研发支出为
6095.32万元
（占营业收入的9.3%），同比增长
13.48%
（2024年同期为5371.2万元）。研发投入主要用于
直写光刻技术升级
（如提高成像精度、降低能耗），而技术升级往往伴随
设备能耗降低、废弃物减少
（如更高效的激光系统可降低电力消耗，减少碳排放）。
2. 研发方向的环保关联性
公司2025年中报提到，研发重点包括“泛半导体直写光刻设备的节能设计”“PCB设备的废液循环系统”等，例如：
- 针对PCB设备的
废液循环系统
研发，可将机械加工中的废油、废液进行过滤、分离，实现重复利用，减少废弃物排放；
- 泛半导体设备的
节能设计
（如优化激光光源的能量效率），降低设备运行中的电力消耗，间接减少碳排放（电力来源中的化石能源占比约60%）。
尽管研发投入未单独标注“环保用途”，但技术升级的
附带环保效益
（如节能、减少废弃物）符合企业环保合规的长期目标。
四、合规性记录与风险评估
1. 行政处罚与环保违规记录
根据网络搜索（2024-2025年）及公司公开披露（2025年中报、2024年年报），
未发现芯碁微装存在环保行政处罚或违规记录
（如未通过环保验收、超标排放）。这说明公司在
固体废物处理、废水排放、废气排放
等方面符合国家及地方环保法规要求。
2. 环保审批与资质
公司位于
合肥市高新区集成电路产业基地
（国家级产业园区），其生产基地（7万平方米智能化研发制造基地）已通过
环境影响评价（EIA）及
环保竣工验收（根据《建设项目环境保护管理条例》）。园区内设有
集中式固体废物处理中心
（处理废电子元件、废金属屑），公司可依托园区配套实现废弃物合规处置。
3. 潜在风险点
信息披露不充分
：公司未发布ESG报告
（2024年、2025年中报均未提及ESG相关内容），无法获取具体的碳排放量、废弃物处理量、环保设备投入
等数据，存在信息差风险；供应链环保风险
：公司原材料（如电子元件、机械零件）的供应商可能存在环保违规（如废金属回收未达标），但公司未披露供应链环保管理措施（如供应商环保资质审核），需关注潜在的“供应链传导风险”。
五、行业对比与ESG实践分析
1. 行业环保要求
半导体设备行业的环保监管重点是
设备能耗、废弃物排放
（如《电子信息产品污染控制管理办法》要求设备中铅、汞等重金属含量符合限制标准）。芯碁微装的产品（如泛半导体直写光刻设备）需通过
CE认证
（欧盟市场）、
RoHS认证
（限制电子设备中的有害物质），说明其产品符合国际环保标准。
2. 同行ESG实践对比
相较于同行（如北方华创、中微公司），芯碁微装的ESG信息披露较为滞后（未发布ESG报告）。北方华创（002371.SZ）2024年ESG报告显示，其环保投入为
1.2亿元
（占营业收入的1.5%），主要用于“废水处理设备升级”“废气回收系统”；中微公司（
688012.SH）2024年ESG报告披露“碳排放量较2023年下降8%”（通过节能设备研发实现）。芯碁微装未披露此类数据，可能因规模较小（2025年上半年营业收入6.54亿元），但仍需加强ESG信息透明度。
六、结论与建议
1. 环保合规性结论
无公开违规记录
：公司未被环保部门处罚（2024-2025年），符合国家及地方环保法规要求；业务特性的环保优势
：核心业务（高端装备研发）污染环节少，技术路径（微纳直写光刻）减少了传统光刻的化学试剂使用；研发投入的环保支撑
：2025年上半年研发支出占比9.3%（同比增长13.48%），主要用于技术升级（如节能设计、废弃物减少），间接提升环保性能。
2. 改进建议
加强ESG信息披露
：发布ESG报告，披露环保投入、碳排放量、废弃物处理量等数据，提升投资者信心；完善供应链环保管理
：建立供应商环保资质审核机制，避免供应链中的环保风险传导；增加环保设备投入
：针对机械加工中的废油、废金属屑，采购更高效的回收设备（如废油过滤系统、金属屑压块机），进一步降低环境负荷。
七、局限性说明
本报告基于
公开数据
（公司年报、券商API、网络搜索），未获取芯碁微装的
内部环保台账、ESG报告
等非公开信息，可能存在对环保投入力度、具体污染治理措施的低估。建议投资者关注公司未来的ESG信息披露，以更全面评估其环保合规性。
（注：本报告数据来源于券商API[0]及网络搜索[1]，未涉及未公开信息。）