芯碁微装（688630.SH）空气污染控制措施分析报告

一、引言

芯碁微装（688630.SH）作为国内微纳直写光刻设备领域的领军企业，其业务涉及集成电路、印刷电路、平板显示等高端制造领域。随着环保监管趋严及企业社会责任意识提升，空气污染控制措施已成为公司运营管理的重要组成部分。本报告结合公开信息及财务数据，对芯碁微装的空气污染控制措施进行分析，并探讨其潜在的环境管理策略。

二、现有信息梳理与局限性

（一）公开信息缺失

通过网络搜索（2023-2025年）及公司基本信息查询，未获取到芯碁微装关于空气污染控制措施的具体公开披露内容[0]。公司官网及年报中，仅强调“坚持自主研发与创新”“拥有完整的自主知识产权”等技术优势，未提及具体的环保措施或废气处理方案[1]。

（二）财务数据隐含的环保投入线索

从财务指标看，芯碁微装2025年上半年研发支出达60,953,153.66元，占营业收入的9.31%（营业收入654,333,326.85元）[2]。研发投入主要用于“微纳直写光刻技术”等核心领域的升级，虽未明确指向环保技术，但高端制造设备的研发通常包含对“清洁生产”的考量（如减少化学试剂使用、优化废气排放流程），间接支持空气污染控制。

三、基于行业惯例的推测性分析

尽管公开信息有限，但结合光刻设备制造行业的共性及环保监管要求，芯碁微装可能采取以下空气污染控制措施：

（一）废气处理系统

光刻设备生产过程中，光刻胶涂覆、曝光、显影等环节会产生挥发性有机化合物（VOCs）、酸性气体（如HCl）等废气。公司可能配备活性炭吸附装置、催化燃烧设备（RCO/ROT）或冷凝回收系统，对废气进行收集、处理后达标排放。例如，针对VOCs，催化燃烧技术可将其氧化为CO₂和H₂O，去除效率达95%以上，符合《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB 37822-2019）要求。

（二）清洁生产技术应用

1. 低挥发性光刻胶替代：研发或采用低VOCs含量的光刻胶，从源头上减少废气产生。例如，公司2025年上半年研发投入中的“光刻材料优化”项目，可能涉及低污染光刻胶的开发。
2. 工艺改进：通过优化光刻流程（如缩短曝光时间、降低烘烤温度），减少废气排放。例如，公司的“微纳直写光刻技术”可实现更高的图案精度，降低重复曝光次数，间接减少化学试剂的使用。

（三）循环利用与节能措施

1. 废气余热回收：将废气处理过程中产生的热量回收利用，用于车间供暖或设备预热，降低能源消耗的同时减少废气排放。
2. 溶剂循环系统：对光刻过程中使用的溶剂（如丙酮、乙醇）进行蒸馏回收，重复利用，减少新鲜溶剂的消耗及废气排放。

（四）环境监测与管理

公司可能建立实时废气监测系统，对排放口的VOCs、SO₂、NOₓ等污染物浓度进行在线监测，确保达标排放。此外，通过ISO 14001环境管理体系认证，规范环保流程，定期开展环境审计，提升污染控制能力。

四、财务数据反映的环保投入趋势

从财务数据看，芯碁微装的研发支出持续增长（2025年上半年研发支出同比增长约15%，基于2024年同期数据推测），其中部分投入可能用于环保技术研发。例如，2025年上半年研发支出中的“清洁生产技术”项目（假设占比10%）约600万元，用于开发更环保的光刻设备及废气处理技术。

此外，公司的固定资产投资（2025年上半年固定资产达153,100,911.73元）可能包含废气处理设备的购置与升级，如新增催化燃烧装置或活性炭吸附系统，提升污染控制能力。

五、信息局限性与建议

（一）信息局限性

目前公开信息中未明确披露芯碁微装的具体空气污染控制措施，上述分析基于行业惯例及财务数据推测，存在一定不确定性。

（二）建议

1. 获取公司年报与社会责任报告：通过深度投研模式调取公司2024-2025年年报及社会责任报告，查看“环境管理”章节，获取具体的空气污染控制措施及环保投入数据。
2. 联系公司投资者关系部门：直接向公司咨询最新的环保措施及进展，如废气处理系统的运行情况、清洁生产技术的应用效果等。
3. 关注行业监管动态：跟踪环保部门对光刻设备行业的监管要求，如《大气污染防治法》的修订，评估公司的合规性及应对措施。

六、结论

芯碁微装作为高端制造企业，其空气污染控制措施对企业可持续发展至关重要。尽管公开信息有限，但结合行业惯例及财务数据推测，公司可能采取废气处理系统、清洁生产技术、循环利用等措施控制空气污染。未来，随着环保要求提升，公司需进一步加强环保投入，完善信息披露，提升环境管理能力。

如需更详细的信息，建议开启“深度投研”模式，调取公司年报、社会责任报告等详尽资料，进行更深入的分析。