本文深入分析中国半导体材料国产化现状,涵盖硅片、光刻胶、电子气体等细分领域,探讨政策支持与市场需求驱动因素,并展望未来技术突破与产业发展趋势。
半导体材料是集成电路(IC)产业的“基石”,其国产化水平直接影响我国半导体产业的自主可控能力。近年来,在“十四五”集成电路产业规划、《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》等政策支持下,叠加5G、AI、新能源汽车等下游需求拉动,我国半导体材料国产化进程加速,部分细分领域已实现突破,但整体仍存在高端产品依赖进口的问题。本文从细分领域现状、政策与需求驱动、主要厂商表现、挑战与展望四大维度,系统分析半导体材料国产化进展。
半导体材料涵盖晶圆制造材料(硅片、光刻胶、电子气体、靶材等)和封装材料(封装基板、引线框架、键合丝等),各领域国产化率差异显著:
硅片是半导体材料中市场规模最大的品类(占比约35%),其国产化率已从2020年的15%提升至2025年的30%左右[0]。国内主要厂商如中芯国际(硅片业务)、沪硅产业、立昂微、中环股份等加速产能布局:沪硅产业2025年12英寸硅片产能达到15万片/月,立昂微12英寸硅片产能突破8万片/月。但12英寸高端逻辑/存储硅片(如EUV级硅片)国产化率仍不足5%,主要依赖信越化学、SUMCO等海外厂商,核心瓶颈在于晶体缺陷控制、表面抛光等技术。
光刻胶是晶圆制造的“核心材料”,其国产化率呈现“中低端高、高端低”的特征。2025年,国内中低端光刻胶(如g线、i线光刻胶)国产化率已达60%,主要厂商包括晶瑞电材、南大光电、上海新阳等;高端光刻胶(如ArF浸没式、EUV光刻胶)国产化率仍低于10%,其中EUV光刻胶完全依赖ASML、JSR、东京应化等厂商。2025年,南大光电ArF浸没式光刻胶通过某龙头晶圆厂验证,实现小批量供货,成为国内首个突破该技术的厂商[0]。
电子气体(如硅烷、氨气、光刻气)占晶圆制造材料成本的15%左右,其国产化率从2020年的20%提升至2025年的40%。国内厂商如华特气体、中船特气、雅克科技等在特种气体领域取得突破:华特气体的光刻气(如KrF、ArF光刻气)通过台积电、中芯国际验证,市场份额达15%;中船特气的高纯氨气(纯度99.99999%)供应给长江存储,替代进口产品[0]。但高端电子气体(如EUV光刻气、超纯硅烷)仍依赖Air Liquide、Linde等海外厂商。
靶材(如铝靶、铜靶、钽靶)是晶圆制造中金属化工艺的核心材料,其国产化率从2020年的10%提升至2025年的25%。国内主要厂商如江丰电子、有研新材、阿石创等在高端靶材领域取得进展:江丰电子的钽靶、铜靶供应给台积电、中芯国际,市场份额达20%;有研新材的铝靶通过三星验证,实现批量供货[0]。
封装材料(如封装基板、引线框架、键合丝)占封装成本的50%左右,其国产化率从2020年的30%提升至2025年的50%。国内厂商如深南电路、兴森科技、长电科技(封装基板)、康强电子(引线框架)、键合丝(超声电子)等在中低端封装材料领域占据主导地位,但高端封装基板(如FC-BGA、SiP基板)国产化率仍低于10%,主要依赖日本揖斐电、台湾欣兴电子等厂商[0]。
《“十四五”集成电路产业发展规划》提出,到2025年,半导体材料国产化率达到50%,其中关键材料(如光刻胶、电子气体、靶材)国产化率达到30%以上。政策通过税收优惠、研发补贴、产业链配套等方式支持半导体材料企业:例如,对半导体材料企业研发投入加计扣除比例提高至100%,对高端材料产业化项目给予最高5000万元补贴[0]。
5G、AI、新能源汽车等下游产业的快速发展,推动半导体材料需求增长:
我国半导体材料国产化进程加速,部分细分领域(如中低端硅片、光刻胶、电子气体)已实现替代,但高端产品(如EUV光刻胶、12英寸逻辑硅片)仍依赖进口。政策支持、下游需求拉动及企业技术突破是推动国产化的关键因素。未来,随着技术进步和需求增长,半导体材料国产化率将逐步提升,为我国半导体产业的自主可控奠定基础。

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