中科飞测量检测设备技术优势深度分析

基于搜索到的信息，我来为您详细分析中科飞测量检测设备的技术优势。

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中科飞测科技股份有限公司（股票代码：688361）是中国领先的半导体质量控制设备企业，成立于2014年末，由中科院微电子所参与设立。公司专注于半导体光学检测设备的研发、生产和销售，产品广泛应用于前道制造、后道封装领域[1][2]。

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中科飞测通过多年自主研发，掌握了覆盖

等领域的九大核心技术，形成了完整的技术护城河[3]。

公司聚焦的

是当前市场主流技术（占比81.4%），相比电子束检测速度快1000倍，相比X光量测适用场景更广[1]。这一技术选择使公司在检测速度和适用范围上具备显著优势。

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技术指标	具体参数
检测精度	10nm级
适配结构	FinFET、GAA等先进晶体管结构
技术突破	打破科磊在14nm以下制程的垄断
应用场景	3D NAND堆叠层检测

该设备采用高数值孔径物镜（NA≥0.95）和高速图像采集系统，在国内先进制程高端检测设备领域实现了

，填补了国内市场空白[4]。

灵敏度级别	吞吐量	最小检测缺陷尺度
102nm	100wph（片/小时）	-
26nm	25wph	23nm

灵敏度级别	吞吐量	最小检测缺陷尺度
3μm	80wph	0.5μm

设备类型	重复性精度
三维形貌量测设备	0.1nm
薄膜膜厚量测设备	0.003nm

这些关键性能指标已与国际竞品相当，具备强竞争力[5]。

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中科飞测在AI算力芯片检测领域提前布局光学与算法融合技术：

• 检测效率提升
  ：通过AI深度学习优化缺陷识别效率，检测速度较传统设备
  提升50%以上
• 纳米级缺陷分类
  ：实现晶体缺陷、颗粒污染等纳米级缺陷的精准分类
• 横向拓展能力
  ：技术可延伸至存储芯片、CIS图像传感器等领域[6]

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公司建立了**“预研一代、开发一代、量产一代”**的迭代机制：

时间节点	技术进展
已实现	覆盖14nm及以上制程
2024年	计划推出支持7nm工艺的检测设备
2025年	10nm精度设备REDWOOD-900实现出货
布局方向	6项适用于28nm以下制程的技术

公司持续通过

等方式推进先进制程研发[7]。

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• 设备价格较进口设备
  低30%-50%
• 检测精度达0.1μm，覆盖14nm及以上制程需求
• 在保持性能的前提下显著降低成本[6]

• 已量产设备品类的市场覆盖比例达
  30%
• 加上验证品类可达
  67%
  ，居于国内厂商前列
• 无图形检测优势明显，套刻精度量测设备逐渐建立优势[2]

• 暗场检测设备已
  批量出货至长鑫存储、长江存储
• 2025年4月，REDWOOD-900再次出货头部客户[4]

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指标	数据
研发投入（2023年）	同比增加 25%
研发人员占比	超过 40%
科研背景	中科院微电子所技术团队背景

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中科飞测的核心竞争力源于其在

上的"三重护城河"[1]：

1. 技术突破
   ：打破"卡脖子"环节，实现关键设备国产替代
2. 产品矩阵
   ：覆盖检测、量测全品类，形成完整解决方案
3. 团队优势
   ：中科院背景，科研实力雄厚

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中科飞测作为国产半导体量检测设备龙头企业，其技术优势主要体现在：

1. 检测精度领先
   ：10nm级检测精度达到国际先进水平
2. 技术路线主流
   ：采用光学检测技术，兼顾速度与适用范围
3. AI深度融合
   ：光学与算法结合，提升检测效率50%以上
4. 国产替代先锋
   ：打破国外垄断，填补国内市场空白
5. 持续迭代能力
   ：建立了完善的研发迭代机制

随着半导体产业国产化进程的加速，中科飞测有望凭借其技术优势持续扩大市场份额。

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[1] 搜狐 - “猜想谁是26年"易中天"系列——中科飞测” (https://www.sohu.com/a/983657651_313170)

[2] 新浪财经 - “中科飞测(688361):检测量测设备国产替代正当时” (http://stock.finance.sina.com.cn/stock/go.php/vReport_Show/kind/lastest/rptid/786038738639/index.phtml)

[3] 原创力文档 - “中科飞测-市场前景及投资研究报告” (https://max.book118.com/html/2023/0517/7165110166005106.shtm)

[4] 雪球 - “10nm精度王炸!中科飞测BFI打破’卡脖子’困局!” (https://xueqiu.com/2211026279/334186028)

[5] 未来智库 - “中科飞测核心看点在哪?” (https://www.vzkoo.com/question/1706687096655843)

[6] 今日头条 - “国产替代浪潮下的半导体检测龙头:中科飞测成长动能深度解析” (https://www.toutiao.com/article/7495372797238166043/)

[7] 未来智库 - “中科飞测核心看点有哪些?” (https://www.vzkoo.com/question/1718239768491005)