【上海微电子中标一台步进扫描式光刻机 金额约1.1亿元】据中国政府采购网公示，上海微电子装备（集团）股份有限公司中标zycgr22011903采购步进扫描式光刻机项目，设备数量为一台，成交金额10999.985万元。