【半导体设备股反复走强 北方华创等多股续创历史新高】半导体设备股反复走强，北方华创、中科飞测、芯源微涨超5%，续创历史新高，金海通触及涨停，富乐德、京仪装备、华海清科、中微公司跟涨。