华海清科CMP设备国产替代加速与耗材自给率问题深度分析

华海清科股份有限公司（股票代码：688120）成立于2013年4月，是由清华大学机械系雒建斌院士、路新春教授团队在化学机械抛光技术领域科研成果进行产业化的实践公司。作为清华大学成果转化项目，华海清科目前是

，其相关技术已达到国际先进水平[1][2]。

公司目前已形成"装备+服务"的平台化战略布局，主要产品涵盖CMP装备、减薄装备、划切装备、湿法装备、离子注入装备、边缘抛光装备、晶圆再生装置以及关键耗材与维保服务。产品已广泛应用于集成电路、先进封装、大硅片、第三代半导体、MEMS、Micro LED等制造工艺[2]。截至2025年，公司已在全国布局4家子公司、2家分公司和30余个服务中心，覆盖国内主要芯片制造基地。

2025年前三季度，华海清科实现营业收入31.94亿元，归母净利润7.91亿元，业绩持续保持增长态势[3]。多家券商研究机构对公司给予"买入"评级：中邮证券认为公司将受益于存储扩产及3D IC全布局；国海证券指出公司先进制程CMP设备加速发展，"装备+服务"平台化布局亮眼；长江证券则在2025Q3点评中确认公司业绩持续增长[3]。公司于2025年12月回购44万股，回购资金总额达6022万元，展现了对未来发展的信心[3]。

中国半导体设备国产替代正迎来历史性发展机遇。根据2026年1月半导体行业协会数据，国内半导体设备国产替代率已从2025年的25%提升至35%，其中刻蚀机、薄膜沉积设备等核心设备替代率突破40%[4]。国务院明确提出2025年中国芯片自给率要达到70%的目标，2019年我国芯片自给率仅为30%左右，这一政策导向为国产半导体设备企业提供了巨大的市场空间[5]。

浙商证券分析指出，AI驱动下2025年全球半导体市场创历史新高，2026年将继续增长9%至7607亿美元，国内先进逻辑与存储扩产有望共振，叠加国产化率提升，将带动设备需求持续向上[4]。东吴证券也强调，国产半导体设备正迎来确定性较强的扩产周期，预计全行业订单增速超30%，有望达到50%以上[4]。

华海清科在CMP设备领域取得了显著的技术突破。公司推出的Universal-S300是面向行业前沿需求开发的12英寸CMP装备，采用叠层布局架构实现有限机台面积下的高产能，配备高效的传输架构和清洗架构，模块化设计满足不同客户对不同制程的设备要求，可满足日益提高的洁净度需求[6]。该装备可更好实现晶圆纳米级全局平坦化，满足先进制程技术需求，实现集成电路、先进封装等制造工艺中批量应用。

在市场端，华海清科产品已成功进入长鑫存储等主流存储芯片制造产线，支持先进制程[7]。长鑫存储IPO引爆国产存储，295亿融资背后华海清科作为国内唯一能量产CMP设备的厂商直接受益。在去胶、清洗、热处理、刻蚀及CMP领域内，国产替代率均高于30%[8]。

尽管CMP设备国产化取得突破，但耗材自给率问题依然严峻。

，技术与市场的双重垄断，让国内芯片制造企业长期面临着高昂的采购成本和供货不稳定的困境[9]。在抛光液领域，卡博特、日本日立以及日本富士美（CR3）合计占抛光液市场超过60%市场份额[10]。

这一垄断格局的形成有其深层原因。CMP抛光液是芯片制造过程中的关键耗材，其质量和性能与电子器件良品率、器件性能可靠性直接相关[11]。抛光液需要根据不同制程、不同材料进行定制化研发，对颗粒大小、硬度、溶解度等参数有极高的精度要求，技术门槛极高。同时，下游芯片制造企业对耗材的稳定性要求极为严格，一旦建立供应关系轻易不会更换，这使得后进入者面临极高的市场准入壁垒。

目前CMP设备国产化率已提升至35%左右，但耗材国产化率明显低于设备[4][8]。这种差距主要体现在以下几个方面：

：设备制造涉及机械、系统集成等相对成熟的工业基础，而耗材研发需要长时间的基础研究和技术积累。以抛光液为例，其核心技术包括磨粒制备技术、抛光液配方技术、表面改性技术等，需要持续的研发投入和经验积累。

：CMP耗材的核心原材料如纳米磨粒、特殊聚合物等，目前仍主要依赖进口。例如，高端抛光液所需的二氧化铈磨粒、纳米级二氧化硅磨粒等，国产化程度较低，制约了终端产品的自主化。

：芯片制造企业对耗材的验证周期较长，通常需要经过多轮测试和小批量试产才能进入批量供应阶段，这延长了国产耗材的市场导入时间。

在CMP抛光垫领域，鼎龙股份已成功实现突破，成为国内龙头。公司明确其抛光垫业务的核心优势：一是产品型号齐全，覆盖硬垫、软垫，可匹配不同客户多样化需求，型号覆盖率国内领先；二是核心原材料自主化，已全面实现CMP抛光硬垫核心原材料国产供应，保障供应链稳定性[12]。

产能方面，鼎龙股份武汉本部抛光硬垫产线产能至2026年一季度预计提升至月产5万片（年产约60万片），为后续放量做好储备[12]。公司2025年全年归属于上市公司股东的净利润预计达7亿元至7.3亿元，同比增长34.44%至40.20%，盈利规模与增长速度稳居行业头部[13]。

近年来我国在CMP抛光液国产化方面取得了显著进步，中国本土CMP抛光液企业不断崛起[11]。金太阳等企业的核心钨抛光液在头部FAB厂实现重大突破[14]。众望丽华微电子材料有限公司等企业专注于填补国产大尺寸硅片CMP抛光液产业链空缺，致力于实现进口替代、解决中国卡脖子技术之"超精密抛光工艺"[15]。

鼎龙股份也在积极推进抛光液多系列产品完善，加快铜及阻挡层抛光液、搭载氧化铈研磨粒子的抛光液等产品验证及放量[12]。随着国内晶圆企业持续扩建产能，以上游核心材料的国产化配套势在必行，芯片产业链供应安全意识上升至前所未有的高度，上游材料厂商正迎来国产替代良机[10]。

面对耗材自给率不足的挑战，华海清科采取了"装备+服务"平台化战略布局，将关键耗材与维保服务纳入核心业务范畴[2]。这一战略的优势在于：

：通过设备销售建立客户关系后，可顺势导入自有耗材产品，提高客户粘性和采购份额。

：设备研发过程中积累的工艺理解，可转化为耗材研发的技术支持，形成技术协同效应。

：通过设备与耗材的联动，可以更好地保障客户供应链安全，提供一站式解决方案。

展望未来，CMP设备及耗材国产替代将呈现以下趋势：

：随着国内存储大厂扩产及全球AI投资带动的产能建设，华海清科等国产CMP设备厂商将直接受益。先进制程CMP设备需求将持续增长，3D IC、先进封装等新兴应用领域将带来增量市场[3]。

：国产CMP耗材厂商正加速追赶。随着核心原材料国产化率提升、产能扩张加速，耗材自给率有望在未来2-3年内显著提升。鼎龙股份等龙头企业将凭借技术积累和产能优势，进一步扩大市场份额[12][13]。

投资者需关注以下风险因素：

技术迭代风险，半导体技术快速演进可能对现有产品形成替代；市场竞争风险，国际巨头可能通过价格战等方式打压国产厂商；下游需求波动风险，存储芯片行业周期性较强可能影响设备及耗材需求。

华海清科作为国内CMP设备龙头，在国产替代加速的背景下实现了快速发展。然而，耗材自给率不足仍是制约产业链自主可控的关键瓶颈。通过鼎龙股份等耗材龙头企业的突破、华海清科"装备+耗材"协同战略的推进，以及政策支持下的产业链协同，耗材自给率有望逐步提升。建议关注设备与耗材联动布局的优质企业，把握半导体国产替代的历史性机遇。

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[1] 清华大学机械工程系 - 机械系技术成果转化公司华海清科成功登陆科创板 (https://www.me.tsinghua.edu.cn/info/1002/2622.htm)

[2] 华海清科官方网站 - 关于我们 (https://hwatsing.com/about.html)

[3] 中财网 - 华海清科(688120)研报一览 (https://quote.cfi.cn/ybyl/156240/688120.html)

[4] 腾讯网 - AI驱动2025全球半导体市场创历史新高 (https://new.qq.com/rain/a/20260107A035LX00)

[5] 前瞻经济学人 - 国务院:2025年中国芯片自给率要达70% (https://ecoapp.qianzhan.com/detials/200820-d2d38105.html)

[6] 华海清科官方网站 - 首页 (https://hwatsing.com/)

[7] 今日头条 - 长鑫存储IPO引爆国产存储 (https://www.toutiao.com/article/7597282068761936436/)

[8] 36氪 - 半导体芯片之巅:光刻胶材料亟待国产化曙光 (https://36kr.com/p/2438627518099718)

[9] 财富号东方财富网 - 鼎龙股份,光刻胶CMP双王牌改写国产半导体格局 (https://caifuhao.eastmoney.com/news/20260125163009759631360)

[10] 重庆任丙科技 - CMP抛光材料:芯片制造的关键材料,市场持续扩容 (https://www.cnrbst.com/newsdetail/10.html)

[11] 中国粉体网 - CMP抛光液,国产之路走到了哪儿? (https://www.cnpowder.com.cn/subject/index_80448.html)

[12] 搜狐 - 调研速递湖北鼎龙控股接待嘉实基金等18家机构 (https://www.sohu.com/a/978546991_122014422)

[13] 腾讯网 - 半导体材料业务突围"劲增",鼎龙股份冲刺港股拓局全球 (https://new.qq.com/rain/a/20260120A06VP400)

[14] 中国粉体网 - CMP抛光液国产之路相关专题 (https://www.cnpowder.com.cn/subject/index_80448.html)

[15] 猎聘 - 深圳市众望丽华微电子材料有限公司招聘信息 (https://www.liepin.com/job/1965437099.shtml)