盛美上海清洗设备打入三星与出口管制风险分析

盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称"盛美上海"）是一家专注于半导体湿法清洗设备的国产龙头企业，股票代码688082，于2021年11月在上海证券交易所科创板上市[1]。公司的控股股东为ACM Research, Inc.（股票代码：ACMR），这家母公司在1998年于美国加利福尼亚州成立，2016年迁册至美国特拉华州，目前在美国纳斯达克全球市场上市[2]。

这种独特的"美股控股、A股上市"双重架构使得盛美上海在技术来源和出口管制合规方面面临复杂的监管环境。根据ACM Research于2025年3月3日提交的最新10-K年度报告文件，公司在2024年的总收入达到7.82亿美元，其中来自单晶圆清洗设备的收入为5.79亿美元，占总收入的74%[2]。

盛美上海在半导体清洗设备领域拥有国际先进水平的自主知识产权。公司开发了四大核心技术平台：

（空间交替相移兆声波清洗），能够在平坦和图案化晶圆表面提供高度均匀的兆声波能量分布；（及时激励气泡振荡），专为先进制程节点的图案化晶圆表面设计，能够实现无损清洗；（单片槽式组合清洗），可显著减少硫酸和双氧水的消耗量；以及（电化学镀铜），用于先进封装和前道制程中的金属镀层[2]。

公司产品主要面向晶圆制造、存储芯片（DRAM、3D NAND）和逻辑芯片制造商，销售价格通常在50万美元至500万美元之间。根据Gartner的数据，盛美上海的产品组合可服务于2024年全球约180亿美元的晶圆制造设备市场，其中清洗设备市场约59亿美元[2]。2024年12月23日，盛美上海与盛美半导体设备韩国有限公司、清芯科技有限公司共同取得了一项基板清洗装置相关专利，授权公告号为CN119909952B，该技术可提升背面清洗效果与效率[3]。

盛美上海正在积极推进客户全球化战略。根据公司2025年1月的业绩预告，公司"稳步推进客户全球化，持续加大市场开拓力度，在深化与现有客户合作的同时，积极开拓全球市场，进一步实现客户群的扩充"[1]。公司预计2025年营业收入将达到66.8亿至68.8亿元人民币，同比增长18.91%至22.47%，2026年营收预期更是高达82亿至88亿元人民币[1]。

在地域布局上，ACM Research在北美、西欧和东南亚设有销售、营销和服务人员，以支持盛美上海的产品向中国大陆以外的地区拓展。值得注意的是，盛美上海在韩国设有子公司ACM Korea，负责韩国市场的业务开拓和技术支持[2]。考虑到三星电子是全球最大的半导体制造商之一，特别是在存储芯片领域占据主导地位，盛美上海作为湿法清洗设备的专业供应商，其产品具有进入三星供应链的技术可行性。

然而，需要特别指出的是，截至本报告撰写时（2026年1月），我尚未检索到盛美上海与三星半导体达成正式设备供应协议的具体公开报道。三星作为全球领先的芯片制造商，对供应商的选择有着严格的标准和漫长的验证周期。盛美上海若要真正打入三星的设备供应体系，需要完成从"demo-to-sales"的评估流程，这一过程通常需要6至24个月甚至更长时间[2]。

2024年12月2日，美国商务部工业与安全局（BIS）发布最终规则，将包括盛美上海（ACM Shanghai）和ACM Korea在内的140家公司列入实体清单（Entity List）。这一举措是拜登政府加大对华半导体出口管制力度的重要举措之一[2]。根据SEC文件的披露，实体清单的列入"禁止全球任何一方在未经BIS许可的情况下向盛美上海或ACM Korea提供受美国出口管理条例（EAR）管辖的硬件、软件或技术"[2]。

盛美上海对美国技术存在实质性依赖，这构成了其面临的核心合规风险。根据年度报告披露，公司依赖以下关键美系供应商：ProSys, Inc.（现称Product Systems, Inc.）是兆声波换能器的独家供应商，这是SAPS和TEBO清洗技术的核心部件；此外，公司还从美国采购多种阀门和其他关键零部件[2]。

实体清单的列入意味着这些美国供应商需要获得BIS的专门出口许可才能继续向盛美上海供货，而这类许可申请在当前政策环境下通常面临"推定拒绝"的审查标准。ACM Research在10-K文件中明确承认：“新规定将使盛美上海和ACM Korea难以、甚至不可能获得任何美国来源的零部件，或来自可能选择跟随美国限制的其他国家的零部件”[2]。

美国出口管制体系中的"直接产品规则"（Direct Product Rule）进一步复杂化了盛美上海的处境。根据2022年10月和2023年10月美国出台的新规，某些半导体制造设备和零部件即使在美国境外生产，只要其生产过程涉及美国的技术、软件或设备，就可能受到EAR管辖。这意味着盛美上海即使从日本、荷兰等盟国采购零部件，也可能因包含美国技术成分而受到出口限制[2]。

2023年，日本和荷兰相继出台了配合美国对华半导体出口管制的措施。日本政府于2023年5月23日修订出口管制条例，对23类先进半导体制造设备实施出口许可要求，并于2023年7月23日生效；荷兰政府则于2023年6月30日发布类似法规，其先进半导体制造设备出口管制条例于2023年9月1日生效[2]。这些盟国的跟进政策使得盛美上海的供应链多元化策略面临挑战。

面对日益严峻的出口管制形势，盛美上海已开始采取供应链重构措施。公司在10-K文件中表示：“虽然我们认为新规定对我们的供应链、以及盛美上海和ACM Korea在中国大陆生产设备的能力的影响可以在不显著中断业务的情况下得到管理，但这将需要过渡某些部件以在我们的客户处获得资质，以保持一致的质量标准”[2]。

在技术自主方面，盛美上海长期重视研发投入。2024年公司的研发费用达到1.05亿美元，占收入的13.5%[2]。公司在中国大陆完成了绝大部分产品开发、制造、支持和服务的业务，并通过政府研发资助项目开发新技术。例如，公司曾获得政府补助用于开发65nm至45nm无应力抛光技术、电镀铜技术以及Tahoe单片清洗技术等[2]。

然而，实现关键零部件的完全国产化替代面临巨大挑战。以兆声波换能器为例，这是SAPS和TEBO技术的核心部件，其设计与制造涉及复杂的材料科学和精密加工技术。盛美上海目前仍依赖ProSys作为独家供应商，这反映出在某些细分技术领域，实现完全自主可控仍需时日[2]。

一个关键问题是：盛美上海在被列入实体清单后，是否仍可向三星等非中国客户供货？

根据SEC文件的分析，美国实体清单的限制主要是"禁止向名单上的实体出口或再出口受EAR管辖的物品"，但"并不禁止名单上的实体向全球客户销售、交付和服务其产品"[2]。换言之，盛美上海作为被列入实体清单的企业，其法律地位是"被限制的买方"而非"被限制的卖方"。

这意味着：

• 盛美上海可以继续向包括三星在内的全球客户销售其半导体设备
• 但盛美上海获取关键零部件的能力受到限制
• 如果设备中包含美国来源的技术、软件或设备，在向某些目的地出口时可能需要额外的出口许可

对于三星这样的韩国客户而言，问题在于盛美上海能否持续、稳定地供应设备。如果美国供应链中断导致盛美上海无法获得关键部件，其交付能力将受到严重影响，进而影响与三星等客户的合作关系。

出口管制对盛美上海财务表现的影响已经显现。根据ACM Research的披露，由于2022年10月和2023年10月美国出口管制规则的实施，“几家盛美上海客户大幅减少了对符合受限先进节点能力的设施的生产和相关资本支出”，“盛美上海的供应链公司也在适应新政策方面面临挑战”，这些因素对截至2023年12月30日的十二个月内的出货量和销售额产生了不利影响[2]。

展望未来，公司预计出口管制将继续影响其业务运营。公司在风险因素披露中明确写道：“我们认为，作为出口管制限制的结果，几家盛美上海客户已大幅减少了对符合受限先进节点能力的设施的生产和相关资本支出。我们预计这些因素将在未来期间继续对盛美上海的出货量和销售产生不利影响”[2]。

尽管如此，盛美上海2024年的业绩仍实现增长，总收入从2023年的5.58亿美元增长至7.82亿美元，同比增长40%[2]。这主要得益于中国大陆半导体市场的强劲需求以及公司产品线的扩展（如PECVD和Track设备）。公司预测2025年和2026年将继续保持增长态势[1]。

综合以上分析，针对"盛美上海清洗设备打入三星，但美国技术占比是否触发出口管制"这一问题，可以得出以下结论：

：虽然盛美上海正在积极推进客户全球化并在韩国设有子公司，但截至目前尚未发现其与三星半导体达成正式设备供应协议的公开信息。进入三星供应链需要经历严格的技术验证和评估流程，这一过程可能需要较长时间。

：盛美上海作为美国上市公司的控股子公司，其核心技术（SAPS、TEBO、兆声波清洗技术）源于美国研发团队的工作。关键零部件（如兆声波换能器）目前仍依赖美国供应商ProSys。这使得公司在供应链层面对美国技术存在实质性依赖。

：2024年12月2日盛美上海被列入美国实体清单，本身就是美国出口管制政策的执行结果，而非触发出口管制的原因。实体清单的列入限制了盛美上海获取美国技术的能力，但其向三星等非中国客户销售设备本身并不直接触发额外的出口管制——前提是其能够通过非美国来源的零部件维持设备生产和交付。

：美国实体清单的列入、盟国出口管制的协调、以及可能的进一步政策收紧，将持续对盛美上海的供应链稳定性构成挑战。公司能否成功实现供应链重构和关键零部件国产替代，将决定其在全球半导体设备市场的长期竞争力。

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[1] 东方财富网 - 盛美上海:预计2026年全年营业收入82亿元至88亿元 (http://finance.eastmoney.com/a/202601233628737136.html)

[2] ACM Research, Inc. 2024 Annual Report on Form 10-K - SEC Filing (https://www.sec.gov/Archives/edgar/data/1680062/000168006225000003/acmr-20241231.htm)

[3] 新浪财经 - 盛美上海等3家公司共同取得基板清洗装置相关专利 (https://finance.sina.com.cn/stock/aigc/zl/2026-01-24/doc-inhiketh0410203.shtml)